モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2023年3月号掲載
資料請求No.1230301603

計測・試験・光学

計測機器

測定時間の短縮に貢献

膜厚分布測定装置

JFEテクノリサーチ株式会社

東京都千代田区大手町1-6-1　大手町ビル4階

　「FiDiCa」は、シリコンウエハ、ガラス、樹脂フィルムなどの測定対象全面の膜厚を光干渉法で測定する装置。測定は独自のアルゴリズムを用いて、400万点の膜厚データを約90秒（材質、条件による）で測定・演算可能。