「新製品情報誌」2023年12月号掲載 資料請求No.1231201402
400万点を2分で膜厚計測
「FiDiCa」は、400万点を2分以内で高速測定・膜厚計算ができる膜厚分布測定装置。油膜、液膜などの薄膜から、各種ウェーハ、フィルムなどの厚膜まで幅広く測定でき、研究開発から欠陥検査まで多岐に活用できる。
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「新製品情報誌」2023年12月号掲載
「新製品情報誌」2023年3月号掲載
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