「新製品情報誌」2024年12月号掲載 資料請求No.1241201408
角型形状や白、赤、青の発光色にも対応可能
「面発光ポーラスチャック」はCE規格対応の光源を内蔵。全面発光で明暗のばらつきを最小限に抑え、PCから調光の外部制御も可能。「吸着固定+発光」で多層ウェハの内部パターン検査やワークのエッジ検査の精度向上などに貢献。
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「新製品情報誌」2024年12月号掲載
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