「新製品情報誌」2024年1月号掲載 資料請求No.1240101702
設置面積が小さく省スペースに貢献
「iXM100」は、iGX100ポンプと同等の真空性能とポンプパッケージを装備した低消費電力ドライポンプ。ほとんどの装置メーカーのイオン注入プロセス向け固有の機能を搭載し、iGXシリーズの下位互換性を実現。
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「新製品情報誌」2025年3月号掲載
「新製品情報誌」2024年1月号掲載
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