「新製品情報誌」2023年10月号掲載 資料請求No.1231003401
サブナノメートルの高さ測定精度を実現
ナノ表面粗さ・形状計測器「ナノセブン」は、独自の光ヘテロダイン干渉技術を使用し、サブナノメートルの高さ測定精度を実現した非接触型計測器。半導体基板など高度に研磨された表面状態を簡単に測定することが可能。
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「新製品情報誌」2023年10月号掲載
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