モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2023年8月号掲載
資料請求No.1230803101

計測・試験・光学

計測機器

4万点の膜厚データを瞬時に取得できる

膜厚測定システム

株式会社ヒューテック

香川県高松市林町1217番地

　「ウェハ全面高速膜厚測定システム」は、ウェハ全面を高速で膜厚測定できるシステム。4万ポイントの膜厚データを瞬時に取得が可能。酸化膜や窒化膜、レジスト、ポリイミドなど、透明体・光沢面の測定ができ、膜厚ムラも一目瞭然。