製品情報
「新製品情報誌」2022年10月号掲載
資料請求No.1221001302
- 計測・試験・光学
- 計測機器
卓上機で300mmのマッピング測定が可能
マッピング用小型高速分光膜厚測定器
- ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社
- 東京都杉並区荻窪5丁目22番9号 藤ビル2階
「theta-SE」は、最大300mmのSiウエハ上に成膜された薄膜の膜厚の均一性をワンタッチで評価できる分光エリプソメーター。リーズナブルな価格とコンパクトなパッケージでありながら高度なエリプソメトリー測定を提供する。
「新製品情報誌」2022年10月号掲載
- 計測機器
- 卓上機で300mmのマッピング測定が可能
- マッピング用小型高速分光膜厚測定器
- ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社(東京都杉並区荻窪5丁目22番9号 藤ビル2階)
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