モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2025年5月号掲載
資料請求No.1250501208

計測・試験・光学

計測機器

光沢面の平面度を測定

3D平面度測定センサ

Micro-Epsilon Japan株式会社

大阪府吹田市江坂町1-23-43ファサード江坂ビル10F1003号室

　「reflectCONTROL」はフリンジ光を利用し、シリコンウェハなど光沢のあるワークの平坦度や欠陥をサブミクロン分解能で測定できる。最大150mmまでの大きさのワークを測定可能。GigE Visionにも対応。