モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2024年12月号掲載
資料請求No.1241201502

計測・試験・光学

計測機器

非接触で厚さ測定が可能

静電容量式capaNCDT

Micro-Epsilon Japan株式会社

大阪府吹田市江坂町1-23-43ファサード江坂ビル10F1003号室

　「DT6200シリーズ」は、表面粗さの影響を受けずにシリコンウェハを挟み込み、サブミクロンの分解能で厚さを測定することが可能な高精度センサ。仮想接地機能により、ウェハの接地なしで測定できる。