モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2024年12月号掲載
資料請求No.1241200502

計測・試験・光学

計測機器

インラインウェハ厚さ測定向けの高精度干渉計

白色干渉計

Micro-Epsilon Japan株式会社

大阪府吹田市江坂町1-23-43ファサード江坂ビル10F1003号室

　「interferoMETER IMS5420」は、ウェハの厚さを片側からひとつのセンサで測定する高精度な白色干渉計。ベアから0.005 Ω・cmまでウェハ厚さ測定が可能。センサはIP67に準拠。ラッピングマシンに最適。