モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2024年2月号掲載
資料請求No.1240203504

計測・試験・光学

計測機器

高精度・高速応答な荷重測定が可能

シリコーンフリーロードセル「UWR」

ユニパルス株式会社

東京都中央区日本橋久松町9-11

　「UWR」は、半導体製造装置への組み込みに最適なシリコーンフリーロードセル。非直線性0.03％FS、固有振動数2.5kHzと高精度・高速応答な荷重測定が行える。シロキサンを発生させないためウェハ搬送ロボットの把持力管理や研磨時の押し圧管理、チップマウンタの荷重制御、ワイヤーボンディング時の押し圧管理等に最適。装置に合わせた容量・形状の特注対応も柔軟に対応できる。