モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2024年1月号掲載
資料請求No.1240101401

計測・試験・光学

光学機器

自社設計の光源等を装置化

ICパッケージ基板向け露光装置

ウシオ電機株式会社

東京都千代田区丸の内1-6-5

　「UX-58112SC」は、最先端ICパッケージ基板向け露光装置「UX-5シリーズ」の最新機種。250mm角の照射エリアとスループット（30秒/パネル）は維持しつつ、L/S＝3μmの解像力と大幅な重ね合わせ精度の向上を実現。