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>シリコーンフリーロードセル「UWR」(ユニパルス株式会社)

製品情報

「新製品情報誌」2023年12月号掲載
資料請求No.1231201204

計測・試験・光学
計測機器

高精度・高速応答な荷重測定が可能

シリコーンフリーロードセル「UWR」

ユニパルス株式会社
東京都中央区日本橋久松町9-11

 「UWR」は、半導体製造装置への組み込みに最適なシリコーンフリーロードセル。精度0.03%FS、固有振動数2.5kHzと高精度・高速応答な荷重測定が行える。シロキサンを発生させないためウェハ搬送ロボットの把持力管理や研磨時の押し圧管理、チップマウンタの荷重制御、ワイヤーボンディング時の押し圧管理等に最適。装置に合わせた容量・形状の特注対応も柔軟に対応できる。

その他製品情報

ユニパルス株式会社

「新製品情報誌」2024年2月号掲載
No. 1240203601

運搬荷役機械
ワークを無重力感覚の軽い力で動かせる
電動バランサMoon Lifter
ユニパルス株式会社(東京都中央区日本橋久松町9-11)

「新製品情報誌」2024年2月号掲載
No. 1240203505

「新製品情報誌」2024年2月号掲載
No. 1240203504

「新製品情報誌」2024年2月号掲載
No. 1240203503

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