モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2023年11月号掲載
資料請求No.1231104003

計測・試験・光学

計測機器

30 pmの分解能を実現

白色光干渉計

Micro-Epsilon Japan株式会社

大阪府吹田市江坂町1-23-43ファサード江坂ビル10F1003号室

　「interferoMETER IMS5x00」シリーズは、分解能<30pm、直線性<±10nmを実現した絶対距離測定システム。4mm小径センサ、多層フィルム・ガラス厚さ、UHV下で測定可能。