モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2018年12月号掲載
資料請求No.1181203003

電子機器・部品

電子部品製造装置

高解像度

直接描画露光装置

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1

　角形パネルを用いる半導体後工程のパッケージ技術であるFOPLP向けの直接描画露光装置「DW-3000forPLP」。MEMSを用いた光の向き、強度を制御する独自のデバイスとレーザー制御技術により直接描画露光装置としては、世界最高水準の解像度2μmを実現。