「新製品情報誌」2015年7月号掲載 資料請求No.1150704305
非破壊検査速度25%向上
半導体や電子部品などを非破壊検査する超音波映像装置「FineSAT5」。内部を画像化する超音波の発生周期を2分の1としたことで、8inのシリコンウエハーを全面測定した場合の検査速度は25%向上。
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