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「新製品情報誌」2019年11月号掲載
資料請求No.1191102202

機械・ロボット
産業用機械

eBeamやスパッター、熱蒸着も可

次世代型薄膜蒸着システム

株式会社日立ハイテクノロジーズ
東京都港区西新橋１－２４－１４

　「PRO Line PVD75」は、高い自由度を有したオープンチャンバーの薄膜蒸着システム。チャンバーは完全モジュール設計で、プロセスに合わせて対応可。高真空/低真空など、ポンプや蒸着源も用途に応じて選択できる。

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次世代型薄膜蒸着システム
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