モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2019年11月号掲載
資料請求No.1191102202

機械・ロボット

産業用機械

eBeamやスパッター、熱蒸着も可

次世代型薄膜蒸着システム

株式会社日立ハイテクノロジーズ

東京都港区西新橋１－２４－１４

　「PRO Line PVD75」は、高い自由度を有したオープンチャンバーの薄膜蒸着システム。チャンバーは完全モジュール設計で、プロセスに合わせて対応可。高真空/低真空など、ポンプや蒸着源も用途に応じて選択できる。