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「新製品情報誌」2019年3月号掲載
資料請求No.1190304101

機械・ロボット
産業用機械

24チャンバーの搭載可能

枚葉式洗浄装置「SU-3300」

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1

 半導体ウエハーの枚葉式洗浄装置で処理能力を高めた機種「SU-3300」。従来機比2倍の最大24チャンバーの搭載が可能で処理能力は業界最高水準。生産性、コスト面でもバッチ式洗浄装置と競争できる。チャンバーサイズは最小化した片側4段積。

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