製品情報
「新製品情報誌」2018年3月号掲載
資料請求No.1180306505
- 計測・試験・光学
- 検査・試験
GaNウエハーに特化
欠陥検査/レビュー装置
- レーザーテック株式会社
- 神奈川県横浜市港北区新横浜2-10-1
次世代半導体ウエハーの窒化ガリウム(GaN)ウエハーに特化した欠陥検査/レビュー装置「GALOIS(ガロワ)」。明視野によるコンフォーカル光学系を用いてGaNウエハーの各種欠陥を高速で検出し、高解像度で欠陥を観察できる。
「新製品情報誌」2023年9月号掲載
No. 1230902601
- 光学機器
- 欠陥検査/レビューと3次元形状測定を1台で実現
- コンフォーカル顕微鏡
- レーザーテック株式会社(神奈川県横浜市港北区新横浜2-10-1)
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