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「新製品情報誌」2018年3月号掲載
資料請求No.1180306108

計測・試験・光学
検査・試験

AIで異常を高精度に検知

異常検知装置

株式会社明電舎
東京都品川区大崎２－１－１　Ｔhink Park Tower

　人工知能（AI）を使って半導体製造装置の異常を高精度に検知できる装置「小型AIエッジコントローラ」。工場内でデータを処理するようにしてリアルタイム性も高めた。AI機能を組み込んだ半導体を内蔵しているのが特徴。半導体製造装置に外付けして使う。

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異常検知装置
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