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製品情報

「新製品情報誌」2018年3月号掲載
資料請求No.1180304203

産業機器
流体機器

半導体プロセス材料用

高効率気化供給システム

株式会社フジキン
大阪府大阪市北区芝田1-4-8

　半導体製造の成膜工程改善に大きく貢献するシステム「FALVS」。同社のFCS-Pと組み合わせることで、従来製品では実現できなかった、100％濃度の液体有機金属ガスを精密に流量制御された状態で供給することが可能。

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高効率気化供給システム
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株式会社フジキン

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「新製品情報誌」2020年5月号掲載
No. 1200500504

ポンプ
水素エネルギーを効率的に生み出す
超高圧液体水素適合バルブ
株式会社フジキン（大阪府大阪市北区芝田1-4-8）

「新製品情報誌」2020年3月号掲載
No. 1200302802

ポンプ
液体水素の安全供給を可能に
超高圧液体水素適合バルブ
株式会社フジキン（大阪府大阪市北区芝田1-4-8）

「新製品情報誌」2020年3月号掲載
No. 1200303501

ポンプ
超高圧水素配管用
メタルガスケット継手
株式会社フジキン（大阪府大阪市北区芝田1-4-8）

「新製品情報誌」2020年3月号掲載
No. 1200303102

ポンプ
液体水素の安全供給を可能に
超高圧液体水素適合バルブ
株式会社フジキン（大阪府大阪市北区芝田1-4-8）
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