モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2018年3月号掲載
資料請求No.1180304203

産業機器

流体機器

半導体プロセス材料用

高効率気化供給システム

株式会社フジキン

大阪府大阪市北区芝田1-4-8

　半導体製造の成膜工程改善に大きく貢献するシステム「FALVS」。同社のFCS-Pと組み合わせることで、従来製品では実現できなかった、100％濃度の液体有機金属ガスを精密に流量制御された状態で供給することが可能。