「新製品情報誌」2018年3月号掲載 資料請求No.1180304203
半導体プロセス材料用
半導体製造の成膜工程改善に大きく貢献するシステム「FALVS」。同社のFCS-Pと組み合わせることで、従来製品では実現できなかった、100%濃度の液体有機金属ガスを精密に流量制御された状態で供給することが可能。
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