ホーム
>製品情報
>産業機器
>流体機器
>高効率気化供給システム(株式会社フジキン)

製品情報

「新製品情報誌」2018年3月号掲載
資料請求No.1180304203

産業機器
流体機器

半導体プロセス材料用

高効率気化供給システム

株式会社フジキン
大阪府大阪市北区芝田1-4-8

 半導体製造の成膜工程改善に大きく貢献するシステム「FALVS」。同社のFCS-Pと組み合わせることで、従来製品では実現できなかった、100%濃度の液体有機金属ガスを精密に流量制御された状態で供給することが可能。

その他製品情報

株式会社フジキン

製品情報検索

資料請求番号

キーワード


製品名、企業名その他のキーワードをスペース区切りで3つまで入力できます(AND検索)。

製品分類

掲載号

月号〜月号

※掲載後2年間分の情報を検索できます。
  • 波形特性自動判定ツール Waveform meister
ユニパルス 電動バランサMoon Lifter ムーンリフタ